近日，爱游戏体育-爱游戏(中国)一站式服务官方网站所属北方华创集团自主研发的两款MOCVD（金属有机物化学气相沉积）外延设备（型号：Satur N800/Satur V700）顺利通过客户验收，并获得批量重复订单。

据介绍，MOCVD设备是一种利用金属有机化合物进行金属输送的气相外延生长设备，需要在原子尺度上实现复杂材料的纳米精度控制、量子级界面控制，并需具备高真空环境和高精度温控系统，以确保材料的纯度和生长的稳定性。凭借在硅外延设备领域的深厚积累，北方华创积极拓展化合物半导体外延设备研发，形成了GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）、SiC（碳化硅）等化合物半导体材料外延设备的系列化产品。

其中，GaN MOCVD外加仪器——Satur N800应具大户型均温湿度场、大超范围平衡可调节为气旋场，或多片式（Batch）大产能利用率和会电气自动化分配，并能实现类化合物半导优秀电子元器件对外开放加层混合物、薄厚和夹杂着均性的高规范；GaAs MOCVD外延性产品——Satur V700出色强化了环流场、热度场、副物质掌握等重要水平，应具高均性、大产销量、低利润等胜机；SiC外加专用设备——MARS iCE115/120S，方法复位很简单，运维基本操作简单，美国上市后赢得股票市场比较广泛认同感。

近年来，经过持续的技术沉淀与创新突破，北方华创实现了硅薄膜外延设备领域4英寸到12英寸全覆盖，产品包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备，取得了多项技术创新和产业化成果，累计销售突破千腔，并先后荣获“北京市科学技术进步一等奖”等重量级荣誉。下一步，面向化合物半导体向高集成度、高效能和低能耗发展的趋势，北方华创将以前瞻技术与创新服务为核心，提供全面外延解决方案，助力用户实现技术突破与成本优化，携手产业链伙伴共创产业发展新未来